SKハイニクスはASMLから最先端のEUV装置を取得し、その費用は約80億ドルになる。
ASMLというオランダの装置メーカーは、通常顧客との取引内容を秘密にしていますが、時折情報が漏れることがあります。今週、韓国企業SK hynixが2027年末までにASMLからEUV(極紫外線)スキャナーを購入するために79億ドルを投資する計画であることが明らかになりました。この装置は、最先端のプロセス技術でチップ製造へ移行するために必要です。
以前はメモリメーカーはロジックICメーカーほど高度な光学装置を必要としませんでした。彼らはより成熟したプロセスを使用していたからです。しかし、MLC(多重セル)技術の成長に伴い、より強力な機器が求められるようになりました。SK hynixの注文は、同社の韓国最大2つの工場で使用される予定です。これはASMLが公開した中で最も大きな顧客注文です。
新しいスキャナーは、現在建設中で2027年2月に完成予定のSK hynixのヨンニン拠点で稼働し始めます。おそらくHBM(High Bandwidth Memory)などの高度なメモリ製造に使用されるでしょう。現在のHBM基板は台湾のTSMCが製造しており、Samsung Electronicsはスタック用DRAMチップも提供しています。SK hynixはTSMCへの依存を減らそうとしています。
また、Samsungはすでに2nm以下のプロセスで需要が高まるHigh‑NA(高数値回折角)ASML装置をテストしており、TSMCもIntelもこの技術に関心を示しています。将来的にはEUV装置はSK hynixの一般DRAM製造にも役立つでしょう。
79億ドルの投資で、同社はASMLから約30台の新しいEUVスキャナーを購入できる見込みです
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